Joninės–reaktyvinės technologijos

Jono pluošto ėsdinimo įrenginio reikalavimai. Ėsdinimo greitis prieš pluošto kampą. Reaktyvusis jonų ėsdinimas. Reaktyvus jonų pluošto ėsdinimas. RIBE įrenginys. Ėsdinimo dielektrikai. Kitos organinės plėvelės arba apsauginiai sluoksniai. Metalizacijos ėsdinimas. Gedimo lokalizavimas. Ėsdinimo koncentracija. Blokavimas.