Ėsdinimo ir kaukių dėjimo procesai. Gryno silicio dioksido ėsdinimas. Negryno SiO2 ėsdinimas. Polikristalinio silicio ėsdinimas. Silicio nitrido ėsdinimas. Aliuminio ėsdinimas. Metalo nuėmimas. Polimido ėsdinimas. Fotokaukės ėsdinimas. Dvipoliai įtaisai. MOP įtaisai.