Terminės (šiluminės) priemaišų difuzijos proceso tyrimas. Priemaišinių atomų skverbimasis į kietuosius kūnus. Priemaišų pasiskirstymas po priemaišų įterpimo etapo. (Difuzijai vykstant iš begalinio šaltinio). Priemaišos srauto tankio ir legiravimo dozės kitimas, priemaišų įterpimo etape (Difuzijai vykstant iš begalinio šaltinio). Priemaišų pasiskirstymas po priemaišų perskirstymo etapo (Difuzijai vykstant iš riboto šaltinio). Priemaišų pasiskirstymas tranzistoriuje, formuojamame dvikartės difuzijos būdu.